爱赢体育收获揭橥ZBZZ0016]高精度电途变更手艺周围

　　本出现公然一种高精度电道转化至柔性可拉伸基底上的要领，搜罗：正在聚酰亚胺覆铜资料上造成高精度电道；正在高精度电道上化学镀金；正在硅片上旋涂葡聚糖爱赢体育，擦去边沿的葡聚糖后固化；正在旋糖后硅片上旋涂未固化的液态基底资料；将高精度电道一侧与未固化的液态基底资料十足接触并排出气泡，再高温固化；将固化后的基底资料边沿去除，浸泡正在去离子水中使葡聚糖层溶化，进而使硅片与带有高精度电道的基底资料区别；将带有高精度电道的基底资料放入碱性溶液中高精度，举办加热反映至聚酰亚胺PI被十足溶化；将除去PI层的带有高精度电道的基底资料加热烘干固定电道形式，冲洗后再行烘干。本出现能够进步高精度电道正在创造经过中的得胜率和表面干净度，且操作简便。

　　更始点（1）本出现涉及柔性可拉伸器件规模，针对柔性电道成型须要大批专业常识和周密操作的状况爱赢体育收获揭橥ZBZZ0016]高精度电途变更手艺周围，提出一种高精度超薄电道转化至柔性可拉伸基底上的要领；（2）该要领诈欺匀胶机等测验仪器，通过湿法刻蚀成型高精度电道，富裕诈欺碱性溶液与聚酰亚胺薄膜反映的特征，可以高效结束高精度电道转化；（3）任何可高温固化的柔性资料均可转化；（4）本要领操作简便，精度及坚固性高于已有同类要领，是一种很有潜力的柔性可拉伸透后基底电道成型要领。

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